高品質電解研磨(EP)

電解研磨とは、＋極に接続した製品と対向した－極との間に電解液を介して直流電流を流すことで金属表面を溶解させ、研磨効果を得る手法です。当社独自開発の高品質電解研磨（EP）は電解研磨後に精密洗浄（SMC）を行う高品質処理技術です。
半導体製造装置のチャンバー、部品等に処理を施した場合、サブミクロンの粗さが得られるとともに耐食性・低ガス放出特性が達成されます。
金属材料の耐食化をはじめ、航空宇宙、エネルギー、超高真空、医学、バイオ等、あらゆる分野の装置に活用され、その品質の高さはハイテク産業を支える技術として大きな注目を集めています。

　

電解研磨の原理

　

◎ 電解研磨の進行による表面の変化（SEM観察）