高品質化学研磨(CP)

化学研磨とは、酸などからなる研磨液に製品を浸漬し、表面を溶解することにより化学的に金属表面を平滑に研磨する手法です。
電解研磨に比べ複雑な形状の製品（チャンバー、フレキシブルチューブ等）への処置が可能となります。金属種に最適な研磨液を開発し、高品位な研磨面を得るとともに精密洗浄（SMC) を行う処理が当社のCP です。

　

特徴

■ 処理物の形状による制限が少ない
■ 全面均一処理
■ 平滑化、酸化被膜の形成
■ 真空特性の向上
■ 装置の最終処理とすることはできる

　

◎ 少ない形状依存性・全面均一処理

　

◎ 平滑化による表面積の低減（ガス放出確率の低減）

　

◎ 酸化被膜形成による低ガス放出化